碳化硅中阴阳离子的测定

碳化硅（SiC）又名金刚砂，是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑等原料通过电阻炉高温冶炼而成。目前中国工业生产的碳化硅分为黑色碳化硅和绿色碳化硅两种，均为六方晶体。碳化硅有化学性能稳定、导热系数高、热膨胀系数小、耐磨性能好等特点，高纯度碳化硅可制造半导体和碳化硅纤维。碳化硅中的杂质阴阳离子会对其性能产生影响，需要进行检测以提高纯化技术。

色谱条件

（1）常规阴离子

分析柱：SH-G-1+SH-AC-11

流动相：10 mM KOH（EG）

流速：1.0 mL/min

柱温：45℃

抑制器：SHY-A-6

进样体积：25 μL

前处理：样品稀释适当倍数过 0.22 μm 一次性针头过滤器和银-钠柱进样分析。

碳化硅提取液中阴离子谱图

（2）阳离子

分析柱：SH-G-1+SH-CC-3L

流动相：5.5 mM 甲烷磺酸

流速：1.0 mL/min

柱温：35℃

抑制器：SHY-C-3

进样体积：25 μL

前处理：样品稀释适当倍数过 0.22 μm 一次性针头过滤器进样分析。

碳化硅提取液中阳离子谱图